可視化観察による熱インプリントプロセスの特徴把握と実験的考察
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概要
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In this study, an experimental system for in-situ observation of the thermal imprint process was constructed, and the material behavior from the initiation of transcription to product removal was precisely studied. Based on the results obtained, effect of the temperature and pressure on the transcription behavior and the shape accuracy was investigated, and the principles to obtain good replication were discussed. In addition, the exfoliation behavior of the material from substrate in the cooling stage after the transcription was observed and its characteristics were discussed.
- 2010-08-01
著者
-
佐藤 勲
東京工業大学
-
川口 達也
東京工業大学
-
齊藤 卓志
東京工業大学
-
川口 達也
東京工業大学大学院理工学研究科機械制御システム専攻科
-
黒崎 晏夫
東京工業大学
-
斉藤 卓志
東工大
-
斉藤 卓志
東京工業大学
-
齊藤 卓志
東工大院
-
川口 達也
東京工大
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