新材料合成用電子サイクロトロン共鳴イオン源のプラズマ評価

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概要

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•   An electron cyclotron resonance ion source (ECRIS) has been designed and developed for a synthesis of new materials such as endohedral metallofullerenes. The plasma chamber diameter is 140 mm in order to produce large m/q ions, like singly charged C60 ions effectively. In this study, we examined the performance of our ECRIS by plasma measurements using a Langmuir probe. The plasma density increased with increasing Ar pressure and reached to 6.1×1017 m-3 at a pressure of 5.0×10-3 Pa. The plasma was produced over a large volume compared with conventional ECRISs.

• 2010-03-20

著者

• 加藤 裕史

  大阪大学大学院工学研究科電気電子情報工学専攻

• 村松 正幸

  放医研

• 吉田 善一

  東洋大学バイオ・ナノエレクトロニクス研究センター

• 内田 貴司

  東洋大学バイオ・ナノエレクトロニクス研究センター

• 北川 敦志

  独立行政法人 放射線医学総合研究所

• 浅地 豊久

  立山マシン株式会社

• 内山 英史

  立山マシン株式会社

• 田中 清勝

  立山マシン株式会社

• 峰崎 英和

  東洋大学大学院工学研究科

• 村松 正幸

  独立行政法人 放射線医学総合研究所

• 吉田 善一

  東洋大学大学院工学研究科

• 加藤 裕史

  大阪大学大学院工学研究科

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