Ti-Mo-N反応性スパッタ薄膜の硬さに及ぼす熱処理の効果
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概要
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- 2010-03-01
著者
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小池 淳一
東北大学大学院工学研究科材科
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小池 淳一
東北大学大学院工学研究科知能デバイス材料学専攻
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小宮山 翔子
東北大学大学院工学研究科知能デバイス材料学専攻
-
須藤 祐司
東北大学大学院工学研究科知能デバイス材料学専攻
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須藤 祐司
東北大学大学院工学研究科
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小池 淳一
東北大学大学院工学研究科 知能デバイス材料学専攻
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