表面波プラズマ源の最適設計のためのシミュレーションコードの開発

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概要

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• 2007-12-21

著者

• 三瓶 明希夫

  京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科

• 三瓶 明希夫

  京都工繊大工芸科学

• 政宗 貞男

  京都工繊大工芸科学

• 宮岸 誠

  京都工芸繊維大学

• 比村 治彦

  京都工芸繊維大学

• 政宗 貞男

  京都工芸繊維大学

• 秋田 友子

  京都工芸繊維大学

• 比村 治彦

  京都工繊大院電子システム

• Masamune Sadao

  Institute Of Plasma Physics Nagoya University:department Of Electrical Engineering Kyoto Institute O

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