静圧空気球面座を用いた均一接触機構のクリーンルーム対応に関する研究

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概要

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• 2008-10-10

著者

• 野口 昭治

  東京理科大学 理工学部機械工学科

• 山地 健介

  東京理科大学大学院

• 野口 昭治

  東京理科大学

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