ゲートシリコン酸化膜の絶縁破壊寿命とその分布

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概要

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• 2009-09-10

著者

• 山部 紀久夫

  筑波大学大学院 数理物質科学研究科 電子・物理工学専攻学際物質科学研究センター

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