「次世代ULSIデバイスのための誘電体薄膜 : 科学と技術」に関する2006年国際ワークショップ(IWDTF 2006)報告

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概要

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• 2007-02-10

著者

• 山部 紀久夫

  筑波大学大学院 数理物質科学研究科 電子・物理工学専攻学際物質科学研究センター

• 山部 紀久夫

  筑波大電子・物理工

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