金薄膜の低温電子線スパッタリングと表面ナノパターン形成
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概要
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- 2008-12-01
著者
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庭瀬 敬右
兵庫教育大
-
Phillipp Fritz
マックスプランク金属研究所
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Seeger Alfred
マックスプランク金属研究所
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庭瀬 敬右
兵庫教育大学大学院学校教育研究科
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庭瀬 敬右
大阪大学基礎工学研究科物理系専攻物性学分野
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