イオンビーム照射ポリフッ化ビニリデン薄膜のエッチング挙動 : エッチング前処理・照射イオン効果の検討
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概要
著者
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浅野 雅春
Quantum Beam Science Directorate, Japan Atomic Energy Agency
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ノイマン ラインハート
Materials Research Department, GSI Helmholtzzentrum fur Schwerionenforschung GmbH
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越川 博
Quantum Beam Science Directorate Japan Atomic Energy Agency
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八巻 徹也
(独)日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門
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前川 康成
(独)日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門
-
高橋 周一
(独)日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門
-
八巻 徹也
Quantum Beam Science Directorate Japan Atomic Energy Agency
-
ノイマン ラインハート
Materials Research Department Gsi Helmholtzzentrum Fur Schwerionenforschung Gmbh
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ROHANI Rosiah
(独)日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門
-
越川 博
(独)日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門
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長谷川 伸
(独)日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門
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浅野 雅春
(独)日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門
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VOSS Kay-Obbe
Materials Research Department, Gesellschaft fur Schwerionenforschung mbH (GSI)
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NEUMANN Reinhard
Materials Research Department, Gesellschaft fur Schwerionenforschung mbH (GSI)
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前川 康成
Quantum Beam Science Directorate Japan Atomic Energy Agency
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浅野 雅春
Quantum Beam Science Directorate Japan Atomic Energy Agency
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浅野 雅春
(独)日本原子力研究開発機構
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フォス カイーオッベ
Materials Research Department Gsi Helmholtzzentrum Fur Schwerionenforschung Gmbh
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八巻 徹也
日本原子力研究開発機構 量子ビーム応用研究部門
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