パルスレーザーを用いた走査型顕微分析法における計測制御
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概要
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To reduce a measurement time in scanning microscope using pulse laser light source, we developed a novel measurement system. In the system, address data of sample stage signal are detected together with a sign from a sample. Using this system, a fluorescence image of a nano-scale with 250nm L&S line pattern was measured with a positioning accuracy of 40nm. A contrast of the image with 100×100 pixels corresponds to that for the diffraction limit of an objective lens. It takes only 20 sec for obtaining one image with a good S/N. It is expected the system contribute to microscopy applied in a research field concerning nano-science.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2007-09-01
著者
-
藤井 正明
東京工業大学 資源化学研究所
-
藤井 正明
東京工業大学
-
池滝 慶記
オリンパス光学工業株式会社先進技術研究所
-
渡邉 武史
オリンパス(株)
-
池滝 慶記
オリンパス(株)
-
寄林 豊
(株)豊伸電子
-
梶原 定文
ワイヤード(株)
-
井上 登
ワイヤード(株)
-
藤井 正明
東京工業大学資源化学研究所
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