ミラー型ECRプラズマを用いたプラズマイオン注入装置の開発と炭素膜の作製
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概要
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- 2000-08-23
著者
-
渡辺 俊哉
三菱重工業(株)先進技術研究センター
-
山本 和弘
産業技術総合研究所
-
山本 和弘
物質工学工業技術研究所
-
古賀 義紀
物質工学工業技術研究所
-
田中 章浩
機械技研
-
山本 和弘
物質工学工技研
-
渡辺 俊哉
ファインセラミックスセンター
-
田中 章浩
機械技術研究所
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