ミラー型ECRプラズマを用いたプラズマイオン注入装置の開発と炭素膜の作製
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概要
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- 2000-08-23
著者
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渡辺 俊哉
三菱重工業(株)先進技術研究センター
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山本 和弘
産業技術総合研究所
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山本 和弘
物質工学工業技術研究所
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古賀 義紀
物質工学工業技術研究所
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田中 章浩
機械技研
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山本 和弘
物質工学工技研
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渡辺 俊哉
ファインセラミックスセンター
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田中 章浩
機械技術研究所
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