渡辺 俊哉 | ファインセラミックスセンター

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概要

• 同名の論文著者
• ファインセラミックスセンターの論文著者

関連著者

• 渡辺 俊哉

  三菱重工業(株)先進技術研究センター

• 山本 和弘

  産業技術総合研究所

• 山本 和弘

  物質工学工業技術研究所

• 古賀 義紀

  物質工学工業技術研究所

• 田中 章浩

  機械技研

• 山本 和弘

  物質工学工技研

• 渡辺 俊哉

  ファインセラミックスセンター

• 田中 章浩

  機械技術研究所

著作論文

• プラズマイオン注入法によるa-C膜の作製
• ミラー型ECRプラズマを用いたプラズマイオン注入装置の開発と炭素膜の作製

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