放電プラズマによるフルオロカーボン分解過程における副生成物の発生特性
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概要
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- 2003-10-06
著者
-
佐藤 三郎
佐賀大学産学官連携推進機構
-
林 信哉
佐賀大学理工学部
-
猪原 哲
佐賀大学理工学部
-
山部 長兵衛
佐賀大学理工学部
-
Hayashi Nobuya
Department of Electrical and Electronics Engineering
-
甲斐 智之
佐賀大学
-
林 信哉
佐賀大学
-
猪原 哲
佐賀大学
-
山部 長兵衛
佐賀大学
-
佐藤 三郎
佐賀大学
-
Satoh Saburo
Department Of Electrical Engineering School Of Science And Engineering Saga University
-
佐藤 三郎
佐賀大学理工学部電気電子工学科
-
Saburoh S
Saga Univ. Saga
-
Hayashi N
Saga Univ.
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