PVSQ膜を用いたSODI構造による誘電体分離型HVICの開発
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2006-10-25
著者
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保田 直紀
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
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秋山 肇
三菱電機株式会社 パワーデバイス製作所
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山本 晃央
三菱電機株式会社 パワーデバイス製作所
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守谷 純一
三菱電機株式会社 パワーデバイス製作所
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高梨 健
三菱電機株式会社 パワーデバイス製作所
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マジュームダール ゴーラブ
三菱電機株式会社 パワーデバイス製作所
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