RFプラズマ中、非平衡電子輸送のモデリング
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1996-02-05
著者
関連論文
- Electron Swarm Parameters in SiH4/H2.
- Computer Modeling of the Transient RF Discharge in Nitrogen - A Continuum Model with the Energy Equation -
- プリンタポートとRS-232Cを利用した多ポート入出力インタフェースの試作
- コンピュータ制御教材における信号入出力技法の研究
- コンピュータの動作原理に関する学習の実践
- SiH_4/Ar混合ガス中における電子輸送のMCS解析
- CAIコースウェアによる論理回路学習
- SiH_4/Ar混合ガス中、rfプラズマの2次元シミュレーション
- 窒素中,高周波パルスプラズマの時間空間分解分光観測
- RFプラズマから基板に入るフラックスへのガードリング効果
- RFプラズマ中、非平衡電子輸送のモデリング
- 容量結合型アルゴンRFグロー放電の2次元流体モデルの解析
- RFプラズマの空間分布と基板上の熱流束との相関