冷陰極逆マグネトロン真空計の広帯域化

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概要

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• Wide range cold cathode inverted magnetron vacuum gauge is developed. A new idea, where higher voltage is applied to the gauge at lower pressure range and lower voltage is applied at higher pressure range, is introduced. It is found that operating pressure range is widened to 10Pa-1 × 10-6 Pa, discharge currents I and pressure P show good linearity in log I-log P plots at 1 × 10-6 Pa -1 Pa and in I-log P plots at 1 Pa-10 Pa. However, discharge currents larger than 1 mA are unstable at higher current range.

• 日本真空協会の論文
• 2005-10-20

著者

• 西川 英一

  東京理科大学 大学院工学研究科

• 喜岡 俊英

  東京理科大

• 喜岡 俊英

  東京理科大学 工学部

• 新井 徹

  東京理科大学工学部電気工学科

• 西川 英一

  東京理科大学 工学部

• 西川 英一

  東京理科大

• 山岸 紀久雄

  ヨシオ電子株式会社

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