Ta-Si-O-N系薄膜発熱抵抗体の開発
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概要
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The resistivity of the resistor in thermal inkjet printers is generally less than 1mΩcm. Thin-film Ta-Si-O-N resistor heaters with high resistivity have been developed. The thin Ta-Si-O-N films can be created with specific compositions to give resistivities ranging from 4 to 13 mΩcm, and show high resistance to cavitation damage. The atomic density and resistivity of these thin Ta-Si-O-N films were higher than those observed thin Ta-Si-O films.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2005-08-01
著者
-
中村 修
カシオ計算機
-
田中 幸一
カシオ計算機
-
田中 幸一
カシオ計算機(株)
-
寺崎 努
カシオ計算機(株)
-
竹山 啓之
カシオ計算機(株)要素技術統轄部
-
中村 修
カシオ計算機(株)
-
竹山 啓之
カシオ計算機
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