SIMSの電子材料への応用

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概要

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• Current problems and applications of SIMS analysis for electronic materials, especially for semiconductors are discussed from the viewpoint of in-depth profile, micro area and trace analysis and quantification. Static-SIMS and SNMS which are presently being developed as new analytical techniques are also reviewed and those applications for semiconductor materials are shown.

• 日本質量分析学会の論文
• 1997-04-01

著者

• 塚本 和芳

  (株)松下テクノリサ-チ主任技師

• 東條 二三代

  (株)松下テクノリサーチ

• 森田 弘洋

  (株)松下テクノリサーチ

• 吉岡 芳明

  (株)松下テクノリサ-チ主担当

• 東條 二三代

  (株)松下テクノリサ-チ技師

• 東条 二三代

  松下テクノリサーチ

• 吉川 住和

  (株)松下テクノリサーチ技術部

• 森田 弘洋

  (株)松下テクノリサーチ技術部

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