酸素ガス添加によってスパッタリング成長させた薄膜固体酸化物型燃料電池の特性評価
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概要
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The performance of a single solid oxide fuel cell (SOFC) was studied using a thin yttria-stabilized zirconia (YSZ) electrolyte film grown by RF magnetron sputtering in mixtures of argon and oxygen. It is found that crystal system of YSZ electrolyte film controlled by plasma sputtering added oxygen to argon. The density of YSZ electrolyte film was improved with an increase of (111) cubic system by adding 14% oxygen. Maximum current density of a single SOFC having YSZ electrolyte film prepared by adding 14% oxygen obtained 147.5 mA at terminal voltage of 239 mV at the operating temperature of 1000°C. Moreover the resistance of the cell reduced from 9.1 Ω to 4.9 Ω.
- 日本真空協会の論文
- 2005-03-20
著者
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長田 昭義
大阪工業大学工学部電気電子システム工学科
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長田 昭義
大阪工業大学工学部電気工学科
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西本 彰文
大阪工業大学工学部電気電子システム工学科
-
見市 知昭
大阪工大
-
見市 知昭
大阪工業大学
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長田 昭義
大阪工業大学
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