デスクトップ・マイクロロボット・ファクトリにおける精密位置計測 : ナノテクノロジーを支える生産システムに向けて

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概要

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• Today, there is variety of “nanotechnology” field such as semiconductor, biochemistry, material and so on. However, measurement and sensing technologies in nano-scale positioning are common technologies for establishing nanotechnology in each field. In this report, precise measurement technologies in positioning for “Desktop micro robots factory” are described. Non-contact position measurement techniques such as image tracking, optical encoder, and magnetic encoder are reviewed. By employing several measurement techniques in position measurement, it enables cm order to nm order positioning seamlessly. Some advantages of “Desktop micro robots factory” as a production system for nanotechnology are also reviewed.

• 社団法人 電気学会の論文
• 2004-12-01

著者

• 渕脇 大海

  電気通信大学

• 渕脇 大海

  電気通信大学 電気通信学部

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