薄膜磁気ヘッド用基板の砥流加工

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概要

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• 砥粒加工学会の論文
• 1998-11-01

著者

• 辻本 真司

  住友特殊金属(株)

• 辻本 真司

  住友特殊金属(株) ウエハー工場

• 中岡 潤一

  住友特殊金属(株) ウエハー工場

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