NEMSデバイス実現へ向けたマイクロオリガミ技術
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概要
著者
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バッカロ パブロ
ATR適応研
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Vaccaro Pablo
Atr適応コミュニケーション研究所
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Vaccaro Pablo
Atr適応コミュニケーション研究所第四研究室
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久保田 和芳
ATR適応コミュニケーション研究所
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會田 田人
株式会社国際電気通信基礎技術研究所(atr)適応コミュニケーション研究所第四研究室
関連論文
- 30pXH-7 2 次元マイクロキャビティレーザの 2 モード同期
- SOI基板上SiGe/Siを用いて作製したマイクロオリガミ構造の評価(半導体Si及び関連材料・評価)
- 高指数面基板上の横型p-n接合を用いた光電子デバイス
- NEMSデバイス実現へ向けたマイクロオリガミ技術