低圧力、パルス放電条件下での出現質量分析法によるラジカル濃度の測定

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概要

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• 電気学会の論文
• 2002-12-01

著者

• 伊藤 衡平

  九州大学大学院工学研究院機械工学部門

• 漆畑 正太

  豊橋技科大

• 恩田 和夫

  豊橋技科大

• 伊藤 衡平

  豊橋技科大

• 中浦 裕之

  豊橋技科大

• 中浦 裕之

  豊橋技術科学大学

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