SOC対応の90nmノードCMOSプロセス技術

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 2002-09-10

著者

• 小野 篤樹

  NECエレクトロンデバイス先端デバイス開発本部

• 小野 篤樹

  Necエレクトロンデバイス 先端デバイス開発本部

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