Ti-Niスパッタ膜の超弾性
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概要
著者
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石田 章
物質・材料研究機構
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佐藤 守夫
独立行政法人物質・材料研究機構材料研究所
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石田 章
独立行政法人物質・材料研究機構材料研究所
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石田 章
金材技研
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石田 章
金属材料技術研究所第5研究グループ第2サブグループ
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