アークイオンプレーティング法によるTiN/AlN超格子薄膜の作製と評価

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1994-11-20

著者

• 吉岡 剛

  住友電工(株) 伊丹研究所

• 吉岡 剛

  住友電気工業(株)特殊線事業部

• 中山 明

  住友電気工業(株)伊丹研究所

• 瀬戸山 誠

  住友電気工業(株)伊丹研究所

• 瀬戸山 誠

  住友電気工業 伊丹研

• 中山 明

  住友電気工業 伊丹研

• 中山 明

  住友電気工業(株)伊丹研究所電子材料研究部

• 中山 明

  住友電気工業

• 吉岡 剛

  住友電気工業

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