「超格子」薄膜の硬さの秘密(<特集>創立100周年記念ミクロの世界)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 1997-06-05

著者

• 中山 明

  住友電気工業 伊丹研

• 中山 明

  住友電気工業(株)伊丹研究所電子材料研究部

• 中山 明

  住友電気工業

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