透過電子顕微鏡その場観察用極低エネルギーイオン照射装置 (水素イオン入射装置)

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1994-02-20

著者

• 吉田 直亮

  九州大学応用力学研究所

• 塚本 哲生

  オリジン電気

• 室賀 健夫

  九州大学応用力学研究所

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