イオンビームスパッタ蒸着を利用して作製した走査型電子顕微鏡用LaB<SUB>6</SUB>コーティングカソードの研究

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概要

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• This paper describes an experimental inverstigation of the thermionic emission properties of tungsten hairpin filament coated with lanthanum hexaboride films (LaB<SUB>6</SUB>) by meams of ion beam sputter deposition method.<BR>Measurement of brightness of the coated filament was parformed in a scanning electron microscope. As a result, the brightness of about 3.42×10<SUP>4</SUP> A/cm<SUP>2</SUP>·ster. (20 kV), was obtained by LaB<SUB>6</SUB> coated tungsten hairpin filament.<BR>Furthermore, it was found that resolution measured from the intervals between latexes obtained by S-450 (SEM) with LaB<SUB>6</SUB> coated was about 20 nm.

• 日本真空協会の論文

著者

• 塚本 哲生

  オリジン電気

• 北條 喜一

  工学院大学

• 金谷 光一

  工学院大学

• 軍司 俊彦

  東京カソード研究所株式会社

• 北條 喜一

  工学院大学電気工学科

• 塚本 哲生

  オリジン電気株式会社

• 金谷 光一

  工学院大学電気工学科

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