MEMS技術を用いたシリコン素子の三次元積層

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概要

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• 2002-02-01

著者

• 滝沢 功

  株式会社フジクラ

• 滝沢 功

  フジクラ

• 末益 龍夫

  株式会社フジクラ

• 末益 龍夫

  フジクラ

• 末益 龍夫

  (株)フジクラ光電子技術研究所シリコン技術研究部

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