微細加工, 自己組織化, 水素化, 歪み導入による薄膜・多層膜の高機能化
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概要
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- 2001-03-20
著者
-
山本 雅彦
大阪大学 大学院工学研究科 マテリアル生産科学専攻
-
山本 雅彦
大阪大学大学院工学研究科
-
山本 雅彦
Department Of Materials Science And Engineering Osaka University
-
山本 雅彦
阪大工
-
Yamamoto Masanobu
Sony Corp. Tokyo Jpn
-
Yamamoto M
Ntt System Electrics Lab. Kanagawa Jpn
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