半導体ガスセンサにおけるガス種の非線形応答の評価
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概要
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一般に化学センサは一次元的情報を指標とするため, 不純物の応答を信号処理することは原理的に不可能であった.そこで, 半導体ガスセンサの非線形ダイナミクスを指標とした, 高次元情報型ガス検出法を開発した.実際には, 周期的温度変化に対するセンサの時間軸応答をフーリエ変換した.ガス種の特徴的な非線形応答 (またはフーリエ変換の高調波成分) の物理化学的意義を明らかにするために, センサ表面の反応機構 (吸着・脱離・燃焼反応) に関する計算機シミュレーションを行った.また, センサ表面の有限面積に伴う応答の飽和現象や複数成分系で生じる競争反応など, 実践的なセンサ応答の非線形特性の評価も行った.
- 社団法人 化学工学会の論文
- 1999-07-10
著者
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