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SiC単結晶育成の現状
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1994-05-01
著者
古賀 和幸
三洋電機(株)半導体研究所光エレクトロニクス研究部半導体材料研究室
古賀 和幸
三洋電機(株)マイクロエレクトロニクス研究所基礎材料研究室
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