Property of Lead Zirconate Titanate Actuator Manufactured with Microwave Sintering Process
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概要
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In this study, the application of a 28 GHz microwave sintering process was attempted for the sintering of lead zirconate titanate (PZT) materials and sintering conditions were thoroughly investigated. Microwave sintering offers advantages over conventional technologies, such as repression of grain growth due to rapid heating, and improvement of microstructure due to internal heating. As a result, the sintering time of PZT materials using a 28 GHz microwave was reduced to 1/10 of the time needed for the conventional process, with improvement of material properties such as the electromechanical coupling factor and dielectric constant. Moreover, the performance of actuators fabricated by the microwave sintering process was evaluated in a vibration test and compared with the performance of actuators fabricated using conventional technology; the performance superiority was confirmed.
- Publication Office, Japanese Journal of Applied Physics, Faculty of Science, University of Tokyoの論文
- 2001-02-15
著者
-
QIU Jinhao
Institute of Fluid Science, TOHOKU University
-
TANI Junji
Institute of Fluid Science, Tohoku University
-
Qiu Jinhao
Institute Of Fluid Science Tohoku University
-
Tani Junji
Institute Of Fluid Science Tohoku University
-
谷 順二
東北大
-
TAKAHASHI Hirofumi
Fuji Ceramics Cooperation
-
Kato Kazuaki
Fuji Ceramics Co.
-
Kato K
Department Of Materials Science Faculty Of Engineering Kitami Institute Of Technology
-
Takahashi Hirofumi
Fuji Ceramics Corporation
-
Kato Kazumi
National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology
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