Ar/O_2 混合ガスプラズマにおけるO_2 の役割

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概要

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• 化学工学会の論文
• 2000-11-20

著者

• 松井 功

  (株)東芝 研究開発センター機械・システムラボラトリー

• 松井 功

  (株)東芝 研究開発センター先端機能材料ラボラトリー

• 松井 功

  株式会社 東芝 研究開発センター

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