LIFによるプラズマ中酸素ラジカルの絶対密度定量 : 酸素プラズマ中酸素ラジカルの圧力依存性とAr添加効果

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概要

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酸素プラズマ中の酸素原子ラジカル(2^3P)密度を2光子励起LIFによって定量した。O^*の寿命を考慮し保存方程式を解いて絶対密度を算出した。酸素ラジカル密度はプラズマの圧力上昇と共に、また酸素にARを添加することにより増大した。酸素にAR添加したリモードプラズマCVDによる絶縁膜成長ではプラズマ中のラジカル密度増大に対応した膜成長速度は増大した。
社団法人電子情報通信学会の論文
1993-10-29

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