In-Situ窒化反応法により合成したAlN皮膜のSR-XPSによる生成反応解析と組織構造解析
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概要
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- 粉体粉末冶金協会の論文
- 1999-08-15
著者
-
木村 淳
住友電気工業 解析技研セ
-
近藤 勝義
東京大学先端科学技術研究センター
-
近藤 勝義
住友電工
-
近藤 勝義
(現)東京大学先端科学技術研究センター
-
近藤 勝義
住友電気工業(株)伊丹研究所
-
武田 義信
住友電気工業株式会社伊丹研究所
-
武田 義信
住友電気工業(株)
-
武田 義信
住友電気工業 伊丹研
-
木村 淳
住友電気工業 株式会社
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