種々の反応性真空アーク蒸着装置による アモルファス酸化チタン膜の生成
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概要
著者
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宮野 竜一
豊橋技術科学大学
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BENDAVID Avi
CSIRO
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MARTIN Philip
CSIRO
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榊原 建樹
豊橋技科大
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Bendavid Avi
Csiro Australia
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Martin Philip
Csiro Australia
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松井 健晃
豊橋技科大
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滝川 浩史
豊橋技科大
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宮野 竜一
豊橋技科大
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