アルチックセラミックスの高速精密スライシングに関する研究
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1999-03-05
著者
関連論文
- 超微細砥粒の電気泳動現象を利用したシリコンウェーハのインフィード研削
- 高速スライシング用マルチセットフランジの変形挙動
- シリコンウェーハのEPD平面研削
- アルミニウムボンドブレードによる電解インプロセスドレッシング研削切断 -塩素濃度と砥石結合材の影響-
- アルチックセラミックスの高速精密スライシングに関する研究
- Al_2O_3-TiCの精密スライシングに関する研究 研削抵抗と残留応力が加工精度に及ぼす影響