<シリコン中の結晶成長時導入欠陥の正体に迫る> シリコン結晶中の成長時導入欠陥と酸化膜耐圧劣化

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 1997-07-10

著者

• 永井 清司

  コマツ電子金属株式会社研究開発センター物性研究室

• 渡辺 正晴

  コマツ電子金属株式会社研究開発センター物性研究室

• 米良 朋洋

  コマツ電子金属株式会社研究開発センター物性研究室

• JABLONSKI Jaroslaw

  コマツ電子金属株式会社研究開発センター物性研究室

• Jablonski Jaroslaw

  コマツ電子金属株式会社 研究開発センター

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