等温容量過渡分光法によるSi-MOS構造の深い準位の評価

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概要

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著者

• 吉田 晴彦

  兵庫県立大学大学院工学研究科

• 吉田 晴彦

  姫路工業大学工学部電子工学科

• 岸野 正剛

  姫路工業大学工学部電子工学科

• 岩本 進

  姫路工大

• 吉田 晴彦

  姫路工大

• 岸野 正剛

  姫路工大

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