0.3μmLSI用レチクル上の異物検出技術の開発(第2報)-システムおよび検出性能-

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概要

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• 1995-09-01

著者

• 松本 俊一

  (株)日立製作所 生産技術研究所

• 浅見 浩一

  日立電子エンジニアリング(株)

• 見坊 行雄

  (株)日立製作所

• 見坊 行雄

  (株)日立製作所 生産技術研究所

• 見坊 行雄

  日立生研

• 宍戸 弘明

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 法元 盛久

  (株)日立製作所 半導体事業部

• 古泉 裕弘

  (株)日立製作所 半導体事業部

• 吉崎 禅哉

  日立電子エンジニアリング(株)

• 島田 博史

  日立電子エンジニアリング(株)

• 法元 盛久

  (株)日立製作所 半導体事業本部 マスク技術開発室

• 宍戸 弘明

  (株)日立製作所 生産技術研究所

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