0.3mmLSI用レチクル上の異物検出技術の開発(第1報)-前方散乱光検出方式による異物検出-
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概要
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- 1995-09-01
著者
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松本 俊一
(株)日立製作所 生産技術研究所
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浅見 浩一
日立電子エンジニアリング(株)
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見坊 行雄
(株)日立製作所
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見坊 行雄
(株)日立製作所 生産技術研究所
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見坊 行雄
日立生研
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宍戸 弘明
(株)日立製作所生産技術研究所
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法元 盛久
(株)日立製作所 半導体事業部
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古泉 裕弘
(株)日立製作所 半導体事業部
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吉崎 禅哉
日立電子エンジニアリング(株)
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島田 博史
日立電子エンジニアリング(株)
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法元 盛久
(株)日立製作所 半導体事業本部 マスク技術開発室
-
宍戸 弘明
(株)日立製作所 生産技術研究所
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