LCDガラス基板の微粒子汚染と有機物汚染の相関
スポンサーリンク
概要
著者
-
高橋 秀人
高砂熱学工業(株)
-
高橋 秀人
高砂熱学工業(株)総合研究所
-
佐藤 克己
高砂熱学工業(株)
-
阪田 総一郎
高砂熱学工業(株)
-
岡田 孝夫
高砂熱学工業
-
岡田 孝夫
高砂熱学工業(株)
-
高橋 秀人
高砂熱学工業 総研
-
阪田 総一郎
高砂熱学工業 (株) 総合研究所
-
阪田 総一郎
高砂熱学工業株式会社東京本店設計部
-
高橋 秀人
高砂熱学工業
-
佐藤 克己
高砂熱学工業
関連論文
- 院内感染防止用応急防護装置について (病院設備の最新動向 特集) -- (院内感染対策)
- 活性炭ケミカルフィルタの寿命予測のための多成分有機物の吸着/脱離挙動モデル
- 空気中の化学汚染の低減対策
- フィルム保存庫におけるセラミックスケミカルフィルタによる酢酸ガス除去性能
- オゾン除去用セラミックフィルタの開発
- ケミカルフィルタに取りつけたULPAのアウトガス特性
- LCDガラス基板の微粒子汚染と有機物汚染の相関
- コロナ放電による微粒子生成
- LCD用ガラス基板の静電気特性に及ぼす表面汚染の影響
- コロナ放電による生成粒子の帯電特性及び粒子数濃度
- 空調用コイルフィンからの微生物の飛散性の評価
- 41478 ハニカム型活性炭フィルタにおける混合有機ガスの吸着挙動の解析 : 細孔拡散モデルの導入によるメディア内部の拡散抵抗の考慮(フィルター・換気による汚染対策,環境工学II)
- 41479 活性炭フィルタにおけるガス状有機物の多成分吸着挙動の解析(フィルターによる化学物質の除去, 環境工学II)
- くしゃみ・咳によるエアロゾル粒子中のインフルエンザウイルスの活性と空調
- マスクと循環ろ過による浮遊微生物除去 : 浮遊微生物由来の感染症防止に対するマスクと空調システムの役割について
- 浮遊微生物の殺菌・除菌法の最近の話題
- 機能統合型個別空調システムの開発 第3報 : システム評価
- 機能統合型個別空調システムの開発 第2報 : 機能統合型個別空調機の運転特性試験
- 機能統合型個別空調システムの開発 第1報 : システム・コンセプト
- 空気中の化学汚染の低減対策
- 浮遊インフルエンザウイルス活性の湿度依存性
- 設備分野における電磁気の影響に関する問題事例
- 二酸化塩素ガスによる動物飼育室の燻蒸消毒
- オゾン脱臭に伴う危険性について (日本獣医師会会誌)
- ウエハ表面へのエアロゾル粒子の付着 : 理論的検討
- ウエハ表面へのエアロゾル粒子の付着機構の解析 : 実験による検討
- セラミックケミカルフィルタ (特集 半導体プロセスを支える周辺技術とEHS) -- (半導体工場関連機器編)
- 液晶用ガラス基板の帯電電荷の漏洩特性
- シンポジウム: 「 健全な室内空気環境 ( IAQ ) をいかに守るか 」
- 実例にみる脱臭技術
- 光触媒の世界
- クリーンルームの分子状汚染物質対策
- HACCP必須技術殺菌からモニタリングまで
- 室内空気汚染の原因と対策
- クリーンルーム用エアワッシャの現状と課題
- クリーンルームの分子状汚染物質対策
- ケミカルエアフィルタの動向
- 環境ホルモン・何がどこまでわかったか
- 中高年登山者のひとりごと
- 抗菌剤の科学 抗菌剤の科学 Part2
- 感染症対策の現状と課題 (特集・室内空気環境)
- マイナスイオン技術--負イオンを利用した空調の快適性に関する考察 (設備講座・環境と省エネルギー(5)空気環境)
- 活性酸素を利用した脱臭
- 院内空気感染防止に役立つ技術とムダな技術
- 除去対象物質と各種フィルタ : (2)ガス状汚染物無機性物質
- クリーンルームの空気清浄 : ケミカル汚染防止技術について
- 静電気を除去する低ノイズクリーンイオナイザの開発
- プラズマ空調システム
- 3.2 脱臭・殺菌・アレルゲン除去設備
- 第15回研究大会参加印象記
- 産官学交流の課題
- 高砂熱学工業株式会社 総合研究所
- セラミックケミカルフィルタ
- 特集にあたって
- 特集にあたって
- クリ-ンル-ムにおける静電気障害とイオナイザによる帯電防止 (障災害防止)
- HDD製造の静電気を除去する低ノイズスーパークリーンイオナイザ (特集 大容量・コンパクト化進むハードディスク)
- 出版委員会の活動状況
- 私の研究開発30年
- 高性能フィルタにおけるボロン汚染対策
- クリーンルーム用エアフィルタの現状と課題
- クリーンルーム用エアワッシャの現状と課題
- クリーンルーム内で発生する分子状汚染物質対策
- クリーンルーム用エアワッシャの現状と課題
- 9・3・3 空気調和(9・3 冷凍・空気調和,9.熱工学,機械工学年鑑)
- 第29回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会報告
- コロナ放電極の発塵機構の解析
- 特集 「エアロゾル研究１０年」 クリーン化技術とエアロゾル工学
- D-35 空調機の微生物汚染実態と微生物の飛散性の評価
- G-12 大規模複合建物の空調設備および室内環境に関する性能検証 : その7 空調・照明制御による省エネルギー効果
- C-2 機能統合型個別空調システムの開発 : 第2報:機能統合型個別空調機の運転特性試験
- D-49 オゾン除去用セラミックフィルタの開発
- A-71 フィルム保存庫におけるセラミックケミカルフィルタによる酢酸ガス除去性能
- E-16 空調機ドレンスライムの実態調査と抗菌剤の評価
- C-1 機能統合型個別空調システムの開発 : 第1報:システム・コンセプト
- C-3 機能統合型個別空調システムの開発 : 第3報:システム評価
- E-58 活性炭ケミカルフィルタの寿命予測手法(その1) : ハニカム型フィルタを対象とした有機物の多成分吸着/脱離挙動のモデル化
- E-32 洗浄工程におけるウエハ帯電の防止
- D-61 SiCポーラス体を用いた加湿器の開発その(2) : 加湿特性の解析と制御精度について
- B-6 空調の躯体蓄熱運転の可能性に関する研究 : 第1報 熱負荷の検討
- F-54 大規模複合建物の空調設備および室内環境に関する性能検証 : その1 空調設備の性能検証
- F-55 大規模複合建物の空調設備および室内環境に関する性能検証 : その2 可変揚程形VWVシステムの性能検証
- E-59 活性炭ケミカルフィルタの寿命予測手法(その2) : パラメータ推定法とモデルの妥当性の検証
- G-49 活性炭-VOC系の多成分吸着平衡関係の簡易予測式
- F-41 活性炭ケミカルフィルタの寿命予測手法(その3) : パラメータ設定方法の明確化とモデルの追加検証
- A-26 磁性材料加工用水の磁気分離について