スパッタ法及びEB蒸着法で作製したCu, Al薄膜の成長過程における電気抵抗の変化

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概要

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• 1995-09-01

著者

• 宮崎 照宣

  東北大・工

• 佐藤 久輝

  東北大学工学部

• 久保田 均

  東北大・工

• 佐藤 久輝

  東北大・工

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