高温スパッタによるアルミニウムのリフロー埋め込み

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概要

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• 日本金属学会の論文

著者

• 菊田 邦子

  日本電気株式会社シリコンシステム研究所

• 菊田 邦子

  日本電気株式会社ulsiデバイス開発研究所

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