イオンビーム利用の基礎と現状 V. イオンビームの応用 3. 工業利用 3. 1イオンビームによる微細加工

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概要

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• 日本アイソト-プ協会の論文

著者

• 中野 禅

  工業技術院機械技術研究所

• 中野 禅

  工業技術院機械技術研究所極限技術部量子技術研究室

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