CF_4/O_2混合ガスプラズマ下流域における各種金属および合金の腐食
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概要
著者
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宮坂 松甫
株式会社荏原総合研究所
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中藤 淳
東北大学工学部
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原 信義
東北大学大学院工学研究科知能デバイス材料学専攻
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杉本 克久
東北大学
-
杉本 克久
東北大学大学院工学研究科
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宮坂 松甫
株式会社荏原以総合研究所 技術開発研究所 材料技術開発室
-
大槻 英二
東北大学工学部
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赤尾 昇
東北大学大学院工学研究科金属工学専攻
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赤尾 昇
東北大学 大学院工学研究科
-
原 信義
東北大学大学院 工学研究科
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