CVD-ZrO_2薄膜の形成条件と耐食性の関係のエリプソメトリ - による解析
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概要
著者
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杉本 克久
東北大学工学部
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杉本 克久
東北大学
-
赤尾 昇
東北大学工学部金属工学科
-
原 信義
東北大学工学部金属工学科
-
赤尾 昇
東北大学 大学院工学研究科
-
窪田 壮男
東北大学大学院工学研究科
-
原 信義
東北大学大学院 工学研究科
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