Si_3N_4と金属の反応を利用した複合材料層の形成
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概要
著者
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中橋 昌子
(株)東芝重電技術研究所
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竹田 博光
(株)東芝重電技術研究所 研究開発センター
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中橋 昌子
(株)東芝 研究開発センター材料・デバイス研究所第1研究所
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白兼 誠
(株)東芝 重電技術研究所
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竹田 博光
(株)東芝総合研究所
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